缺陷检测装置、缺陷修复装置、缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110072153.3

申请日：

2011-03-16

公开(公告)号：

CN102279189B

公开(公告)日：

2011-12-14

发明(设计)人：

山本修平中西秀信植木章太

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G02F113

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

张鑫

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101717202077 IPC(主分类):G01N 21/88 专利号:ZL2011100721533 申请日:20110316 授权公告日:20131211 终止日期:20160316
2012-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101177117743 IPC(主分类):G01N 21/88 专利申请号:2011100721533 申请日:20110316
2013-12-11	授权	授权
2011-12-14	公开	公开

共 50 条

[1]

缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法 [P].

大庭博明 .

中国专利 :CN103630542A ,2014-03-12

[2]

缺陷检测装置和缺陷检测方法 [P].

太田佳成 .

中国专利 :CN101251496A ,2008-08-27

[3]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

山崎隆一 .

中国专利 :CN101600957A ,2009-12-09

[4]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

何伟 .

中国专利 :CN109856877A ,2019-06-07

[5]

缺陷检测装置、缺陷检测方法 [P].

永田泰昭 ;

佐藤雄伍 .

中国专利 :CN104350381B ,2015-02-11

[6]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[7]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[8]

校准装置、缺陷检测装置、缺陷修复装置、校准方法 [P].

中西秀信 ;

山本修平 ;

植木章太 .

中国专利 :CN102202226B ,2011-09-28

[9]

缺陷检测方法和缺陷检测装置 [P].

杨航 .

中国专利 :CN117808765A ,2024-04-02

[10]

缺陷检测方法以及缺陷检测装置 [P].

畠堀贵秀 ;

田窪健二 .

中国专利 :CN107462581B ,2017-12-12

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