位置测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310510493.9

申请日：

2013-10-25

公开(公告)号：

CN103791867B

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

J.克诺普夫

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01B2100

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

梁冰;杨国治

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101634488616 IPC(主分类):G01B 21/00 专利申请号:2013105104939 申请日:20131025
2014-05-14	公开	公开
2021-10-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/00 申请日:20131025 授权公告日:20180629 终止日期:20201025
2018-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

位置测量系统 [P].

延斯-托尔斯滕·格罗瑙 ;

米可·霍伊里希 ;

蒂诺·维格斯 .

中国专利 :CN101561241B ,2009-10-21

[2]

位置测量系统 [P].

濑古保次 .

中国专利 :CN101520310A ,2009-09-02

[3]

位置测量系统 [P].

M·梅斯纳 ;

J·德雷谢 .

中国专利 :CN101305265A ,2008-11-12

[4]

位置测量系统 [P].

大佛一毅 ;

林邦弘 .

中国专利 :CN1712893B ,2005-12-28

[5]

位置测量系统 [P].

铃木智大 .

中国专利 :CN106346498A ,2017-01-25

[6]

位置测量系统 [P].

W·霍尔扎普菲尔 ;

S·赖希胡伯尔 ;

H·胡伯尔-伦克 ;

J·德雷舍尔 .

中国专利 :CN1769835B ,2006-05-10

[7]

位置测量系统 [P].

W·霍尔扎菲尔 ;

M·斯特普塔特 .

德国专利 :CN119642695A ,2025-03-18

[8]

一种位置测量传感器和位置测量系统 [P].

薛金来 ;

聂婷 ;

毕国玲 ;

梁怀丹 ;

张星祥 ;

陈长征 .

中国专利 :CN109099841B ,2018-12-28

[9]

位置测量系统及位置测量方法 [P].

中村隆志 ;

一之瀬刚 .

日本专利 :CN120187566A ,2025-06-20

[10]

位置测量系统和光刻设备 [P].

R·A·琼斯 ;

E·A·J·M·本特 .

:CN120112768A ,2025-06-06

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