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基板处理装置及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780005349.6
申请日：
2017-01-23
公开(公告)号：
CN108475630B
公开(公告)日：
2018-08-31
发明(设计)人：
桥诘彰夫
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
H01L21027
H01L21306
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
宋晓宝;向勇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-31 | 公开 | 公开 |
| 2018-09-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20170123 |
| 2022-09-13 | 授权 | 授权 |