图形化蓝宝石衬底报废品的重制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910209216.1

申请日：

2019-03-19

公开(公告)号：

CN109935514A

公开(公告)日：

2019-06-25

发明(设计)人：

冯磊徐平王杰

申请人：

申请人地址：

423038 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3320 H01L3344 H01L3346

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603

代理人：

于淼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-25	公开	公开
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20190625
2019-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190319

共 50 条

[1]

图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法 [P].

许南发 ;

郭文平 .

中国专利 :CN104362083B ,2015-02-18

[2]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102129971A ,2011-07-20

[3]

图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

杨云峰 ;

朱帅 .

中国专利 :CN119767899A ,2025-04-04

[4]

图形化蓝宝石衬底的制作方法 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102157629B ,2011-08-17

[5]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[6]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[7]

蓝宝石图形化衬底的制备方法 [P].

何源 ;

谢祥同 ;

何精明 .

中国专利 :CN104300046A ,2015-01-21

[8]

制造图形化蓝宝石衬底的方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN106571295A ,2017-04-19

[9]

一种蓝宝石图形化衬底制备方法 [P].

赵德胜 ;

黄宏娟 ;

王敏锐 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN104465896A ,2015-03-25

[10]

图形化蓝宝石衬底的光刻方法和系统 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102087484A ,2011-06-08

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