图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810824992.8

申请日：

2018-07-25

公开(公告)号：

CN109037402A

公开(公告)日：

2018-12-18

发明(设计)人：

徐平

申请人：

申请人地址：

423038 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603

代理人：

于淼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-18	公开	公开
2019-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20180725
2021-01-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 33/00 申请公布日:20181218

共 50 条

[1]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[2]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102129971A ,2011-07-20

[3]

一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法 [P].

袁根如 ;

郝茂盛 ;

王来 .

中国专利 :CN102254809B ,2011-11-23

[4]

图形化蓝宝石衬底的制作方法 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102157629B ,2011-08-17

[5]

制造图形化蓝宝石衬底的方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN106571295A ,2017-04-19

[6]

一种蓝宝石图形化衬底制备方法 [P].

赵德胜 ;

黄宏娟 ;

王敏锐 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN104465896A ,2015-03-25

[7]

一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

张化宇 ;

汪桂根 ;

崔林 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN102403420A ,2012-04-04

[8]

一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

康凯 ;

付星星 ;

陆前军 .

中国专利 :CN108321261A ,2018-07-24

[9]

一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

丁春香 .

中国专利 :CN108899400A ,2018-11-27

[10]

图形化蓝宝石衬底报废品的重制方法 [P].

冯磊 ;

徐平 ;

王杰 .

中国专利 :CN109935514A ,2019-06-25

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