一种高精度全自动双面曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921401480.7

申请日：

2019-08-27

公开(公告)号：

CN210864317U

公开(公告)日：

2020-06-26

发明(设计)人：

李明之朱伟杰李壮

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市中新广州知识城九佛建设新街18号自编112房

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240

代理人：

王桂名

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-26	授权	授权
2021-08-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190827 授权公告日:20200626 终止日期:20200827

共 50 条

[1]

高精度全自动双面曝光机 [P].

李明之 ;

朱伟杰 ;

李壮 .

中国专利 :CN110376853A ,2019-10-25

[2]

一种全自动双面曝光机及高精度对位方法 [P].

谢宇 ;

林特 ;

王迪 ;

何奕程 ;

林淼 ;

林日力 .

中国专利 :CN118707817B ,2024-12-10

[3]

一种全自动双面曝光机及高精度对位方法 [P].

谢宇 ;

林特 ;

王迪 ;

何奕程 ;

林淼 ;

林日力 .

中国专利 :CN118707817A ,2024-09-27

[4]

全自动双面曝光机 [P].

张方德 ;

谢桂平 .

中国专利 :CN206270656U ,2017-06-20

[5]

全自动双面曝光机 [P].

张鸿明 .

中国专利 :CN201532523U ,2010-07-21

[6]

一种高精度双面曝光机 [P].

唐文静 ;

唐晖 ;

朱伟杰 .

中国专利 :CN114779596A ,2022-07-22

[7]

一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN212623568U ,2021-02-26

[8]

全自动双面曝光机 [P].

张方德 ;

谢桂平 .

中国专利 :CN106547174B ,2017-03-29

[9]

一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN113835303B ,2025-03-14

[10]

一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN113835303A ,2021-12-24

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