一种新型环保硅片研磨机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921911975.4
申请日
2019-11-07
公开(公告)号
CN211439296U
公开(公告)日
2020-09-08
发明(设计)人
陆敏
申请人
申请人地址
629000 四川省遂宁市船山区创新工业园区明星大道机场东路口
IPC主分类号
B24B722
IPC分类号
B24B2700 B24B4106 B24B5506 B01D5000
代理机构
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211
代理人
方强
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片研磨机 [P]. 
陆敏 .
中国专利 :CN211073139U ,2020-07-24
[2]
一种硅片研磨机 [P]. 
刘磊石 ;
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[3]
一种新型研磨机 [P]. 
陈卫萍 .
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[4]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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