一种抛光装置及抛光组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010695885.7

申请日：

2020-07-17

公开(公告)号：

CN111805396A

公开(公告)日：

2020-10-23

发明(设计)人：

金泰源张月卢一泓刘青

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

B24B4104 B24B4712 B24B5702

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

赵永刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-23	公开	公开
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 29/00 申请公布日:20201023
2020-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/00 申请日:20200717

共 50 条

[1]

一种抛光组件及抛光装置 [P].

褚帅 ;

张春光 ;

刘嘉瑞 ;

安磊 ;

于晓晨 ;

徐德鹏 ;

张宏旭 .

中国专利 :CN119388293A ,2025-02-07

[2]

抛光组件及抛光装置 [P].

杨涛 ;

陈栋 ;

祁学辉 ;

陆冬生 .

中国专利 :CN215617385U ,2022-01-25

[3]

一种玻璃抛光毛刷及抛光方法与抛光装置 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

邓达 .

中国专利 :CN105538184A ,2016-05-04

[4]

抛光垫、抛光装置及抛光方法 [P].

涩木俊一 .

中国专利 :CN1628374A ,2005-06-15

[5]

一种抛光装置 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222818606U ,2025-05-02

[6]

一种抛光装置 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222627308U ,2025-03-18

[7]

一种抛光装置 [P].

王滔 ;

周铁军 ;

毕宏岩 .

中国专利 :CN222627307U ,2025-03-18

[8]

一种晶圆抛光装置及抛光方法 [P].

毛晨 ;

陆爱军 .

中国专利 :CN121199848A ,2025-12-26

[9]

一种抛光垫及抛光装置 [P].

张迅 ;

易伟华 ;

孙骏超 .

中国专利 :CN216542675U ,2022-05-17

[10]

一种抛光头及抛光装置 [P].

丁彦荣 ;

张月 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN111823130A ,2020-10-27

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