一种抛光垫及抛光装置

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申请号
CN202123059218.9
申请日
2021-12-07
公开(公告)号
CN216542675U
公开(公告)日
2022-05-17
发明(设计)人
张迅 易伟华 孙骏超
申请人
申请人地址
338004 江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园
IPC主分类号
B24B3722
IPC分类号
B24B3710
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
李海建
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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抛光垫、抛光单元、抛光装置、及抛光垫的制造方法 [P]. 
立野哲平 ;
松冈立马 ;
栗原浩 ;
鸣岛早月 ;
高见沢大和 .
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[9]
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[10]
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