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抛光垫及其抛光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721752620.6
申请日：
2017-12-15
公开(公告)号：
CN207788624U
公开(公告)日：
2018-08-31
发明(设计)人：
冯光建
夏秋良
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW-20#107、108、109、110
IPC主分类号：
B24B3722
IPC分类号：
B24B3724
代理机构：
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371
代理人：
周宇
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-31 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 37/22 变更事项:专利权人 变更前:苏州新美光纳米科技有限公司 变更后:新美光（苏州）半导体科技有限公司 变更事项:地址 变更前:215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW-20#107、108、109、110 变更后:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园北区C幢103 |
| 2018-08-31 | 授权 | 授权 |