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抛光垫及晶圆抛光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511107136.7
申请日：
2025-08-08
公开(公告)号：
CN120588104B
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
柴万里 王凯 谢毓
申请人：
万华化学集团电子材料有限公司
申请人地址：
264000 山东省烟台市开发区北京中路50号
IPC主分类号：
B24B37/26
IPC分类号：
B24B37/013 B24B37/34
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
周淑歌
法律状态：
公开
国省代码：
河北省 石家庄市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-05 公开 公开
2025-09-23 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/26申请日:20250808
2025-10-10 授权 授权
共 50 条
[1]
抛光垫及晶圆抛光装置 [P]. 
柴万里 ;
王凯 ;
谢毓 .
中国专利 :CN120588104A ,2025-09-05
[2]
晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P]. 
杨玉凯 .
中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06
[3]
一种晶圆抛光垫及晶圆抛光装置 [P]. 
李洪亮 ;
沈思情 ;
张俊宝 ;
陈猛 .
中国专利 :CN211193450U ,2020-08-07
[4]
晶圆抛光装置 [P]. 
万先进 ;
胡孟杰 ;
李俊 ;
尤国振 ;
张怀东 ;
朱松 ;
边逸军 .
中国专利 :CN220372845U ,2024-01-23
[5]
抛光垫及抛光设备 [P]. 
姜宏 .
中国专利 :CN210452283U ,2020-05-05
[6]
一种用于碳化硅晶圆的边缘抛光装置 [P]. 
李文明 ;
罗泽胤 ;
朱静 ;
龙科 .
中国专利 :CN118493246B ,2024-09-17
[7]
一种用于碳化硅晶圆的边缘抛光装置 [P]. 
李文明 ;
罗泽胤 ;
朱静 ;
龙科 .
中国专利 :CN118493246A ,2024-08-16
[8]
晶圆抛光垫 [P]. 
李文华 ;
颜冠致 ;
曾焕铨 .
中国专利 :CN113070810A ,2021-07-06
[9]
晶圆抛光方法及抛光装置 [P]. 
川崎智宪 ;
寺川良也 .
中国专利 :CN108369906B ,2018-08-03
[10]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30
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