一种用于碳化硅晶圆的边缘抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410931822.5

申请日：

2024-07-12

公开(公告)号：

CN118493246A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

李文明罗泽胤朱静龙科

申请人：

深圳至元精密设备有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区祝龙田北路8号劲拓高新技术中心三单元13层

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/30 B24B37/34 B24B27/00 B24B57/02 B24B9/06 H01L21/306

代理机构：

深圳齐茂专利代理事务所(普通合伙) 44396

代理人：

蔡春儒

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	公开	公开
2024-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/10申请日:20240712
2024-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于碳化硅晶圆的边缘抛光装置 [P].

李文明 ;

罗泽胤 ;

朱静 ;

龙科 .

中国专利 :CN118493246B ,2024-09-17

[2]

碳化硅晶圆抛光装置 [P].

韩波 ;

韩宗考 ;

孟璇 .

中国专利 :CN120480794A ,2025-08-15

[3]

碳化硅晶圆化学机械抛光装置 [P].

黄瑾 ;

张洁 ;

林武庆 ;

汪良 .

中国专利 :CN216030138U ,2022-03-15

[4]

碳化硅晶圆的抛光装置及精加工方法 [P].

班新星 ;

田壮智 ;

雷泽 ;

郑少冬 ;

段天旭 ;

巴文兰 ;

邱慧 .

中国专利 :CN118386132A ,2024-07-26

[5]

一种用于碳化硅晶圆的抛光垫及抛光方法 [P].

张莉娟 .

中国专利 :CN117067104B ,2024-01-02

[6]

一种用于碳化硅晶圆抛光的单层核壳结构抛光磨料、抛光液及制备方法和抛光方法 [P].

高尚 ;

董志刚 ;

郭嘉倪 ;

康仁科 ;

宋鑫 .

中国专利 :CN121108880A ,2025-12-12

[7]

一种碳化硅晶圆化学机械抛光系统 [P].

戴豪 ;

张为强 ;

李伟 ;

王嘉琪 ;

王磊 ;

吴尚东 .

中国专利 :CN222581100U ,2025-03-07

[8]

一种高质量碳化硅抛光液及碳化硅晶圆 [P].

陈晓青 .

中国专利 :CN118497877A ,2024-08-16

[9]

一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置 [P].

李旭明 ;

刘治洲 ;

蔡立志 ;

王锡铭 ;

李潇阳 ;

刘岩 .

中国专利 :CN117415698A ,2024-01-19

[10]

一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置 [P].

李旭明 ;

刘治洲 ;

蔡立志 ;

王锡铭 ;

李潇阳 ;

刘岩 .

中国专利 :CN117415698B ,2024-02-13

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