一种高质量碳化硅抛光液及碳化硅晶圆

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410644360.9

申请日：

2024-05-23

公开(公告)号：

CN118497877A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

陈晓青

申请人：

福州芳华精研科技有限公司

申请人地址：

350000 福建省福州市台江区鳌峰路与连江中路交汇处红星苑三期商场第02层01铺-3室

IPC主分类号：

C25F3/30

IPC分类号：

C25F7/00

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C25F 3/30申请日:20240523
2024-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆抛光液 [P].

梁振 .

中国专利 :CN116656243B ,2024-03-29

[2]

高质量碳化硅籽晶、碳化硅晶体、碳化硅衬底及其制备方法 [P].

彭同华 ;

王波 ;

赵宁 ;

娄艳芳 ;

郭钰 ;

张贺 ;

刘春俊 ;

杨建 .

中国专利 :CN113186601B ,2021-07-30

[3]

碳化硅衬底用抛光液 [P].

储耀卿 ;

施尔畏 .

中国专利 :CN102533124A ,2012-07-04

[4]

碳化硅晶圆抛光装置 [P].

韩波 ;

韩宗考 ;

孟璇 .

中国专利 :CN120480794A ,2025-08-15

[5]

一种碳化硅晶圆抛光液及其制备方法 [P].

何波 ;

杨阳 ;

凌观爽 .

中国专利 :CN120399578A ,2025-08-01

[6]

一种高质量P型碳化硅晶体及碳化硅衬底 [P].

党一帆 ;

朱灿 ;

刘鹏飞 ;

陈超 ;

周惠琴 ;

张红岩 ;

王立凤 ;

王晓 .

中国专利 :CN119615370A ,2025-03-14

[7]

碳化硅基片的抛光液 [P].

周海 .

中国专利 :CN101724344A ,2010-06-09

[8]

碳化硅抛光液过滤设备 [P].

孔云龙 ;

张辉 .

中国专利 :CN220968380U ,2024-05-17

[9]

碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法 [P].

林秀岩 ;

曹力力 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120322001A ,2025-07-15

[10]

一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法 [P].

颜杰钦 ;

郭东勇 ;

李泽辉 .

中国专利 :CN120888243A ,2025-11-04

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