碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510464827.6

申请日：

2025-04-14

公开(公告)号：

CN120322001A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

林秀岩曹力力陈伟张永熙袁志巧

申请人：

浙江瞻芯电子科技有限公司

申请人地址：

322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路599号

IPC主分类号：

H10D64/68

IPC分类号：

H10D64/27 H10D64/01 H10D62/832 H10D62/00 H10D30/60 H10D30/01

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

张会华;岳红杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省金华市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10D 64/68申请日:20250414
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅晶圆的加工方法 [P].

曹力力 ;

许云丁 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120015616A ,2025-05-16

[2]

碳化硅晶圆片的制备方法和碳化硅晶圆片 [P].

贺冠中 .

中国专利 :CN107723797A ,2018-02-23

[3]

碳化硅晶圆切割方法 [P].

刘舟 ;

陆明 ;

吴霞芳 ;

黄小龙 ;

吴华安 ;

王太保 ;

高鹏 ;

盛辉 ;

张凯 ;

周学慧 .

中国专利 :CN115555732A ,2023-01-03

[4]

碳化硅晶圆的制造方法 [P].

陈金泓 ;

颜弘昕 .

中国专利 :CN120613259A ,2025-09-09

[5]

碳化硅晶圆的制造方法 [P].

陈金泓 ;

颜弘昕 .

中国专利 :CN120656935A ,2025-09-16

[6]

碳化硅晶圆切割装置 [P].

刘鸿吉 .

中国专利 :CN221134497U ,2024-06-14

[7]

碳化硅晶圆切割设备 [P].

张晓峰 ;

胡秋立 .

中国专利 :CN223531643U ,2025-11-11

[8]

碳化硅晶圆退火工装 [P].

谢桂林 ;

蒋玉娇 ;

黄升元 .

中国专利 :CN223181086U ,2025-08-01

[9]

碳化硅晶圆抛光装置 [P].

韩波 ;

韩宗考 ;

孟璇 .

中国专利 :CN120480794A ,2025-08-15

[10]

碳化硅晶圆及其制备方法 [P].

赵路 ;

张俊 ;

李炜 ;

施荣荣 .

中国专利 :CN119050000A ,2024-11-29

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