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一种碳化硅晶圆抛光液
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310608081.2
申请日：
2023-05-26
公开(公告)号：
CN116656243B
公开(公告)日：
2024-03-29
发明(设计)人：
梁振
申请人：
无锡市恒利弘实业有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区硕放工业园
IPC主分类号：
C09G1/02
IPC分类号：
H01L21/04
C30B33/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-29 | 授权 | 授权 |