抛光垫及抛光设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921134857.7
申请日
2019-07-18
公开(公告)号
CN210452283U
公开(公告)日
2020-05-05
发明(设计)人
姜宏
申请人
申请人地址
102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
IPC主分类号
B24B3720
IPC分类号
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人
吴欢燕
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
抛光垫及晶圆抛光装置 [P]. 
柴万里 ;
王凯 ;
谢毓 .
中国专利 :CN120588104A ,2025-09-05
[2]
抛光垫及晶圆抛光装置 [P]. 
柴万里 ;
王凯 ;
谢毓 .
中国专利 :CN120588104B ,2025-10-10
[3]
抛光垫及多层抛光垫 [P]. 
川桥信夫 ;
长谷川亨 ;
志保浩司 ;
河村知男 ;
河原弘二 ;
保坂幸生 .
中国专利 :CN1494983A ,2004-05-12
[4]
一种抛光垫及化学机械抛光设备 [P]. 
具滋贤 ;
张月 ;
杨涛 ;
卢一泓 ;
刘青 .
中国专利 :CN114425743A ,2022-05-03
[5]
抛光垫、抛光设备的抛光盘和抛光设备 [P]. 
李清 ;
王昌飞 .
中国专利 :CN222327795U ,2025-01-10
[6]
一种抛光垫及抛光设备 [P]. 
沙酉鹤 ;
谢越 .
中国专利 :CN212601122U ,2021-02-26
[7]
晶片抛光用抛光垫 [P]. 
夏秋良 .
中国专利 :CN205342781U ,2016-06-29
[8]
抛光垫及化学机械抛光设备 [P]. 
蒲以松 ;
惠聪 ;
阴俊沛 .
中国专利 :CN110802508B ,2020-02-18
[9]
抛光垫及化学机械抛光设备 [P]. 
韩琦 .
中国专利 :CN120244825A ,2025-07-04
[10]
抛光垫以及抛光设备 [P]. 
杨怀庆 ;
白强强 ;
王明 .
中国专利 :CN119858110A ,2025-04-22