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抛光垫以及抛光设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202510094565.9
申请日
:
2025-01-21
公开(公告)号
:
CN119858110A
公开(公告)日
:
2025-04-22
发明(设计)人
:
杨怀庆
白强强
王明
申请人
:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
申请人地址
:
710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号
:
B24B37/22
IPC分类号
:
B24B37/04
代理机构
:
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人
:
沈寒酉;李宁
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-05-09
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/22申请日:20250121
2025-04-22
公开
公开
共 50 条
[1]
抛光垫形貌检测方法及装置、双面抛光设备
[P].
杨轩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
杨轩
.
中国专利
:CN117359491A
,2024-01-09
[2]
抛光设备、抛光方法和抛光装置
[P].
彭云龙
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
彭云龙
.
中国专利
:CN119328655A
,2025-01-21
[3]
抛光垫及抛光设备
[P].
姜宏
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
姜宏
.
中国专利
:CN210452283U
,2020-05-05
[4]
抛光垫、抛光设备的抛光盘和抛光设备
[P].
李清
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
铭扬半导体科技(合肥)有限公司
铭扬半导体科技(合肥)有限公司
李清
;
王昌飞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
铭扬半导体科技(合肥)有限公司
铭扬半导体科技(合肥)有限公司
王昌飞
.
中国专利
:CN222327795U
,2025-01-10
[5]
抛光垫、抛光设备和抛光垫形貌调节方法
[P].
毛磊
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
毛磊
.
中国专利
:CN119427198A
,2025-02-14
[6]
抛光垫清洗方法及设备
[P].
周勤学
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
周勤学
.
中国专利
:CN117359494A
,2024-01-09
[7]
抛光垫、抛光设备、抛光方法以及包括用该抛光方法抛光的物体的制品
[P].
山原通宏
论文数:
0
引用数:
0
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0
山原通宏
.
中国专利
:CN105829022A
,2016-08-03
[8]
抛光设备以及抛光方法
[P].
黄小涵
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
黄小涵
;
刘浦锋
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
刘浦锋
;
陈猛
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
陈猛
.
中国专利
:CN119748313A
,2025-04-04
[9]
抛光设备以及抛光方法
[P].
刘浦锋
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
刘浦锋
;
黄小涵
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
黄小涵
;
陈猛
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海超硅半导体股份有限公司
上海超硅半导体股份有限公司
陈猛
.
中国专利
:CN119567084A
,2025-03-07
[10]
制造抛光垫的方法以及抛光垫
[P].
吉多·瓦伦蒂尼
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
吉多·瓦伦蒂尼
.
中国专利
:CN104511852A
,2015-04-15
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