一种RPECVD的多室沉積系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811369235.2

申请日：

2018-11-16

公开(公告)号：

CN109943829A

公开(公告)日：

2019-06-28

发明(设计)人：

范继良

申请人：

申请人地址：

中国香港新界大埔浅月湾2期11號屋

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

林丽明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/513 申请日:20181116
2022-04-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/513 申请公布日:20190628
2019-06-28	公开	公开

共 50 条

[1]

RPECVD的多室沉积系统 [P].

范继良 .

中国专利 :CN209243175U ,2019-08-13

[2]

一种RPECVD的卧式沉积装置 [P].

范继良 .

中国专利 :CN209243176U ,2019-08-13

[3]

一种多室变风量系统 [P].

翁文兵 ;

时宗菊 ;

蔡振华 .

中国专利 :CN117928035A ,2024-04-26

[4]

一种用于多柜室钥匙柜的控制装置 [P].

陈建胜 ;

任小勇 ;

施赛科 ;

潘豪蒙 ;

周跃凯 ;

黄立挺 ;

叶力 ;

杨光 ;

陈岳 ;

王飞 ;

潘勃利 ;

周威 ;

徐春生 ;

张彬 ;

黄沙熠 ;

金兰 ;

麻琼芳 ;

徐展越 ;

葛旋宇 .

中国专利 :CN112227841A ,2021-01-15

[5]

一种制作HIT硅电池的气相沉積装置 [P].

范继良 .

中国专利 :CN109957786A ,2019-07-02

[6]

一种基于多曲面LED的手术室照明系统 [P].

倪强 ;

孙艳 ;

吕剑樱 ;

沈洋 .

中国专利 :CN112449462A ,2021-03-05

[7]

一种办公室门禁系统 [P].

邵珠全 .

中国专利 :CN105741389A ,2016-07-06

[8]

一种用于实验室的净化空调系统 [P].

牟广军 .

中国专利 :CN207849667U ,2018-09-11

[9]

一种绣球菌种植室的换气系统 [P].

黄贤华 ;

林程 ;

黄洁 ;

林燕 ;

黄秋英 .

中国专利 :CN207011382U ,2018-02-16

[10]

一种实验室自行控制沉桩装置 [P].

于秀霞 ;

黄孝义 ;

刘俊伟 ;

赵国晓 ;

朱娜 .

中国专利 :CN211312621U ,2020-08-21

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