RPECVD的多室沉积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821892232.2

申请日：

2018-11-16

公开(公告)号：

CN209243175U

公开(公告)日：

2019-08-13

发明(设计)人：

范继良

申请人：

申请人地址：

中国香港新界大埔浅月湾2期11號屋

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

林丽明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种RPECVD的多室沉積系统 [P].

范继良 .

中国专利 :CN109943829A ,2019-06-28

[2]

一种RPECVD的卧式沉积装置 [P].

范继良 .

中国专利 :CN209243176U ,2019-08-13

[3]

多室化学气相沉积系统 [P].

乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;

米格尔·索尔达娜 ;

布雷特·斯诺登 ;

尤利·拉什科夫斯基 ;

迈克尔·佩奇 .

中国专利 :CN206127419U ,2017-04-26

[4]

多室化学气相沉积系统 [P].

乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;

米格尔·索尔达娜 ;

布雷特·斯诺登 ;

尤利·拉什科夫斯基 ;

迈克尔·佩奇 .

中国专利 :CN206646165U ,2017-11-17

[5]

一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统 [P].

张明倩 ;

于金凤 .

中国专利 :CN215517629U ,2022-01-14

[6]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN206999626U ,2018-02-13

[7]

多室化学气相沉积系统 [P].

乔治·帕帕索利奥蒂斯 ;

米格尔·索尔达娜 ;

布雷特·斯诺登 ;

尤利·拉什科夫斯基 ;

迈克尔·佩奇 .

中国专利 :CN106498366A ,2017-03-15

[8]

一种多腔室沉积系统 [P].

张琮 ;

赵小玻 ;

林清莲 ;

董新保 ;

李庆晓 ;

张绍锋 .

中国专利 :CN120796953A ,2025-10-17

[9]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13

[10]

一种化学气相沉积室及沉积系统 [P].

陈毅明 ;

于金凤 .

中国专利 :CN216155961U ,2022-04-01

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