用于沉积系统的多材料沉积头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720892832.8

申请日：

2017-07-21

公开(公告)号：

CN206999626U

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

金国庆胡兵兵陈涛杨湛孙立宁

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区济学路8号

IPC主分类号：

B29C64112

IPC分类号：

B29C64209 B29C64336 B29C64393 B33Y3000 B33Y4000 B33Y5002

代理机构：

宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273

代理人：

袁丽花

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13

[2]

材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

奥利弗·海默尔 ;

迪特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01

[3]

一种多材料喷嘴沉积系统 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN206999634U ,2018-02-13

[4]

用于在基板上沉积材料的材料沉积系统 [P].

丹尼斯·G.·道尔 ;

托马斯·C.·普伦蒂斯 ;

帕特希·A.·马特奥 ;

大卫·P.·普林斯 .

中国专利 :CN104080948A ,2014-10-01

[5]

一种多材料喷嘴沉积系统及沉积方法 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107234808A ,2017-10-10

[6]

用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统 [P].

朴宰完 ;

车裕敏 ;

赵源锡 ;

朴在穆 ;

安宰弘 ;

黄珉婷 ;

金兑昱 ;

李钟禹 ;

金兑承 .

中国专利 :CN101880865B ,2010-11-10

[7]

RPECVD的多室沉积系统 [P].

范继良 .

中国专利 :CN209243175U ,2019-08-13

[8]

沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法 [P].

黄珉婷 ;

李星昊 .

中国专利 :CN1824829A ,2006-08-30

[9]

带有模块化沉积头的沉积系统 [P].

T.M.斯帕思 ;

L.W.塔特 .

中国专利 :CN110382737A ,2019-10-25

[10]

用于将材料沉积于基板上的材料沉积系统和方法 [P].

肯尼斯·C.·克劳奇 ;

罗伯特·W.·特蕾西 ;

托马斯·J.·卡林斯基 ;

斯科特·A.·里德 .

中国专利 :CN104395085A ,2015-03-04

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