一种多材料喷嘴沉积系统及沉积方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710601683.X
申请日
2017-07-21
公开(公告)号
CN107234808A
公开(公告)日
2017-10-10
发明(设计)人
金国庆 胡兵兵 陈涛 杨湛 孙立宁
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市相城区济学路8号
IPC主分类号
B29C64135
IPC分类号
B29C64209 B29C64336 B33Y4000
代理机构
宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273
代理人
袁丽花
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多材料喷嘴沉积系统 [P]. 
金国庆 ;
胡兵兵 ;
陈涛 ;
杨湛 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN206999634U ,2018-02-13
[2]
用于沉积系统的多材料沉积头 [P]. 
金国庆 ;
胡兵兵 ;
陈涛 ;
杨湛 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN206999626U ,2018-02-13
[3]
用于沉积系统的多材料沉积头 [P]. 
金国庆 ;
胡兵兵 ;
陈涛 ;
杨湛 ;
孙立宁 .
中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13
[4]
沉积系统及沉积方法 [P]. 
郑文豪 ;
朱玄之 ;
陈彦羽 .
中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08
[5]
材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P]. 
乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;
斯蒂芬·班格特 ;
奥利弗·海默尔 ;
迪特尔·哈斯 .
中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01
[6]
一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法 [P]. 
盛飞龙 ;
郭嘉杰 ;
王慧勇 ;
王鑫 ;
吴彩庭 ;
孔倩茵 .
中国专利 :CN114753001A ,2022-07-15
[7]
沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统 [P]. 
郑文豪 ;
陈彦羽 ;
戴逸明 .
中国专利 :CN114921760B ,2024-05-28
[8]
沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统 [P]. 
郑文豪 ;
陈彦羽 ;
戴逸明 .
中国专利 :CN114921760A ,2022-08-19
[9]
沉积设备及沉积系统 [P]. 
王建卫 ;
沈一春 ;
张贤根 ;
王占举 ;
施敏丰 .
中国专利 :CN209778654U ,2019-12-13
[10]
沉积设备及沉积系统 [P]. 
金首宦 ;
姜显旭 ;
崔明云 ;
安炳喆 ;
郑光镐 .
韩国专利 :CN121219434A ,2025-12-26