沉积设备及沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480036348.8

申请日：

2024-08-01

公开(公告)号：

CN121219434A

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

金首宦姜显旭崔明云安炳喆郑光镐

申请人：

雅世电子科技有限公司

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

H10K71/16 H10K50/15 H10K50/16 H10K50/11 H10K59/80 C23C14/04 C23C14/34 C23C14/24

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

刘兵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	公开	公开

共 50 条

[1]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN209778654U ,2019-12-13

[2]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN111138078A ,2020-05-12

[3]

沉积设备和沉积系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN215163072U ,2021-12-14

[4]

沉积系统、沉积设备、和操作沉积系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

马蒂亚斯·克雷布斯 .

中国专利 :CN108966659B ,2018-12-07

[5]

沉积镀膜加热设备及沉积系统 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223061081U ,2025-07-04

[6]

薄膜沉积设备和薄膜沉积系统 [P].

姜敞晧 ;

权铉九 ;

玄在根 .

中国专利 :CN103097568A ,2013-05-08

[7]

沉积件及沉积设备 [P].

吴先亮 ;

周云 ;

睢智峰 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN121065637A ,2025-12-05

[8]

沉积件及沉积设备 [P].

吴先亮 ;

周云 ;

睢智峰 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN121065632A ,2025-12-05

[9]

沉积系统及沉积方法 [P].

郑文豪 ;

朱玄之 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08

[10]

沉积设备及使用沉积设备的沉积方法 [P].

许成旻 ;

李秉春 .

韩国专利 :CN120591762A ,2025-09-05

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