沉积镀膜加热设备及沉积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422275506.5

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223061081U

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

周向阳

申请人：

乐金显示光电科技（中国）有限公司

申请人地址：

510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号

IPC主分类号：

C23C16/46

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

梁佳强

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN209778654U ,2019-12-13

[2]

沉积设备及沉积系统 [P].

金首宦 ;

姜显旭 ;

崔明云 ;

安炳喆 ;

郑光镐 .

韩国专利 :CN121219434A ,2025-12-26

[3]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN111138078A ,2020-05-12

[4]

综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法 [P].

朱美萍 ;

曾婷婷 ;

邵建达 ;

易葵 ;

孙建 ;

李静平 ;

王建国 ;

张伟丽 .

中国专利 :CN108342699A ,2018-07-31

[5]

沉积设备和沉积系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN215163072U ,2021-12-14

[6]

沉积系统及沉积方法 [P].

郑文豪 ;

朱玄之 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08

[7]

薄膜沉积装置及系统 [P].

刘金章 ;

杨欣泽 .

中国专利 :CN209178473U ,2019-07-30

[8]

沉积系统、沉积设备、和操作沉积系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

马蒂亚斯·克雷布斯 .

中国专利 :CN108966659B ,2018-12-07

[9]

减少镀膜沉积的夹钳 [P].

陈清炜 ;

吴烱隆 .

中国专利 :CN101235481A ,2008-08-06

[10]

一种镀膜设备沉积腔室和镀膜设备 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN209555353U ,2019-10-29

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