沉积设备和沉积系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201890001652.9

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN215163072U

公开(公告)日：

2021-12-14

发明(设计)人：

拉尔夫·林登贝格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456 H01J3734

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

沉积系统、沉积设备、和操作沉积系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

马蒂亚斯·克雷布斯 .

中国专利 :CN108966659B ,2018-12-07

[2]

薄膜沉积设备和薄膜沉积系统 [P].

姜敞晧 ;

权铉九 ;

玄在根 .

中国专利 :CN103097568A ,2013-05-08

[3]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN209778654U ,2019-12-13

[4]

沉积设备及沉积系统 [P].

金首宦 ;

姜显旭 ;

崔明云 ;

安炳喆 ;

郑光镐 .

韩国专利 :CN121219434A ,2025-12-26

[5]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN111138078A ,2020-05-12

[6]

通过式沉积系统以及采用通过式沉积系统的沉积方法和沉积设备 [P].

P·卡曾斯 ;

H·C·卢安 ;

T·帕斯 ;

J·费雷尔 ;

R·加拉尔多 ;

S·F·迈耶 .

中国专利 :CN101641765B ,2010-02-03

[7]

沉积设备的监控系统和沉积设备 [P].

刘小阳 ;

龙雪松 ;

祁文杰 .

中国专利 :CN223607367U ,2025-11-28

[8]

沉积设备和沉积方法 [P].

西村一仁 ;

笹冈秀纪 .

中国专利 :CN101469417B ,2009-07-01

[9]

沉积装置和沉积设备 [P].

丁玉西 ;

祁文杰 ;

卢秋霞 ;

林佳继 .

中国专利 :CN119736581A ,2025-04-01

[10]

沉积设备和沉积方法 [P].

秋旼局 ;

郑弘基 ;

宋吉镐 .

韩国专利 :CN119923490A ,2025-05-02

← 1 2 3 4 5 →