薄膜沉积设备和薄膜沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080067349.7

申请日：

2010-06-14

公开(公告)号：

CN103097568A

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

姜敞晧权铉九玄在根

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

H01L5156

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

党晓林;王小东

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101714129211 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2010800673497 申请公布日:20130508
2013-06-19	著录事项变更	著录事项变更变更事项:申请人变更前:SNU精密股份有限公司变更后:SNU精密股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国首尔变更后:韩国忠清南道号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101615832699 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2010800673497
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468533377 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2010800673497 申请日:20100614
2013-05-08	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜沉积系统和薄膜沉积方法 [P].

赵炳夏 ;

徐廷和 ;

金泰亨 ;

徐东均 ;

曹洙一 .

中国专利 :CN102102195A ,2011-06-22

[2]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

韩亚朋 ;

骆金龙 .

中国专利 :CN113430501A ,2021-09-24

[3]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

张图 ;

杨依龙 .

中国专利 :CN115928034B ,2025-11-11

[4]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

钱心嘉 .

中国专利 :CN117845181A ,2024-04-09

[5]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

朱瑞 ;

王馨悦 ;

贾兰 ;

王璐 ;

李疆琨 ;

李培培 ;

张腾 .

中国专利 :CN119663249A ,2025-03-21

[6]

薄膜沉积反应腔和薄膜沉积设备 [P].

王政 ;

柴雪 ;

李晶 ;

田云龙 .

中国专利 :CN117448789A ,2024-01-26

[7]

薄膜沉积反应腔和薄膜沉积设备 [P].

王政 ;

柴雪 ;

李晶 ;

田云龙 .

中国专利 :CN117448789B ,2025-04-18

[8]

薄膜沉积设备和利用其沉积薄膜的方法 [P].

李侑钟 .

中国专利 :CN103572242A ,2014-02-12

[9]

薄膜沉积设备 [P].

单洪青 ;

张迎春 ;

李沅民 .

中国专利 :CN102021537A ,2011-04-20

[10]

薄膜沉积装置、薄膜沉积方法及薄膜沉积设备 [P].

朱志君 ;

王晖 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120193262A ,2025-06-24

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