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薄膜沉积方法和薄膜沉积设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311863794.X
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN117845181A
公开(公告)日：
2024-04-09
发明(设计)人：
钱心嘉
申请人：
杭州富芯半导体有限公司
申请人地址：
311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号（滨富合作区）
IPC主分类号：
C23C14/50
IPC分类号：
C23C14/56
C23C14/54
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
丁俊萍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20231229 |
| 2024-04-09 | 公开 | 公开 |