综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810140027.9

申请日：

2018-02-11

公开(公告)号：

CN108342699A

公开(公告)日：

2018-07-31

发明(设计)人：

朱美萍曾婷婷邵建达易葵孙建李静平王建国张伟丽

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1446

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-31	公开	公开
2020-06-30	授权	授权
2018-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20180211

共 50 条

[1]

双向沉积镀膜装置及镀膜方法 [P].

李志勇 .

中国专利 :CN104862656A ,2015-08-26

[2]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206219A ,2020-05-29

[3]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206206A ,2020-05-29

[4]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206205A ,2020-05-29

[5]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206207A ,2020-05-29

[6]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206224A ,2020-05-29

[7]

沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P].

田保峡 ;

闻益 ;

曲士座 .

中国专利 :CN111206203A ,2020-05-29

[8]

一种镀膜设备及镀膜方法 [P].

陈策 ;

丁维红 ;

肖念恭 ;

陈吉利 .

中国专利 :CN109023273A ,2018-12-18

[9]

离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法 [P].

朱佳敏 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

柏培 .

中国专利 :CN116904955B ,2024-04-30

[10]

镀膜设备及镀膜方法 [P].

解传佳 ;

潘俊杰 ;

罗金豪 ;

赵贤贵 ;

武瑞军 ;

张永胜 .

中国专利 :CN118147581A ,2024-06-07

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