一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法

被引：0

申请号：

CN202210481219.2

申请日：

2022-05-05

公开(公告)号：

CN114753001A

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

盛飞龙郭嘉杰王慧勇王鑫吴彩庭孔倩茵

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

C30B2516 C30B2514 C30B2512 C23C1652 C23C16458 C23C16455

代理机构：

佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

黄家豪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20220505
2022-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种外延沉积腔室 [P].

沈文杰 ;

傅林坚 ;

潘文博 ;

董医芳 ;

汤承伟 ;

章杰峰 ;

麻鹏达 ;

周建灿 .

中国专利 :CN209412356U ,2019-09-20

[2]

沉积系统及沉积方法 [P].

郑文豪 ;

朱玄之 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08

[3]

外延沉积设备 [P].

王树林 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN218321744U ,2023-01-17

[4]

一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统 [P].

张明倩 ;

于金凤 .

中国专利 :CN215517629U ,2022-01-14

[5]

用于外延沉积的反应腔 [P].

黄允文 ;

田益西 .

中国专利 :CN103320852A ,2013-09-25

[6]

沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统 [P].

郑文豪 ;

陈彦羽 ;

戴逸明 .

中国专利 :CN114921760B ,2024-05-28

[7]

沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统 [P].

郑文豪 ;

陈彦羽 ;

戴逸明 .

中国专利 :CN114921760A ,2022-08-19

[8]

沉积制备装置及外延膜沉积制备方法 [P].

龙占勇 ;

韩雪岭 ;

李洪 ;

刘定财 ;

梁展程 ;

林佳继 .

中国专利 :CN119082860A ,2024-12-06

[9]

一种化学气相沉积室及沉积系统 [P].

陈毅明 ;

于金凤 .

中国专利 :CN216155961U ,2022-04-01

[10]

沉积设备及沉积系统 [P].

王建卫 ;

沈一春 ;

张贤根 ;

王占举 ;

施敏丰 .

中国专利 :CN209778654U ,2019-12-13

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