用于在基板上沉积材料的材料沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280068201.4

申请日：

2012-11-28

公开(公告)号：

CN104080948A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

丹尼斯·G.·道尔托马斯·C.·普伦蒂斯帕特希·A.·马特奥大卫·P.·普林斯

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺伊州

IPC主分类号：

C23C2402

IPC分类号：

H01L2167 H05K312

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

脱颖

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736856736 IPC(主分类):C23C 24/02 专利申请号:2012800682014 申请公布日:20141001
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587977394 IPC(主分类):C23C 24/02 专利申请号:2012800682014 申请日:20121128
2014-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

用于将材料沉积于基板上的方法 [P].

丹尼斯·G.·道尔 ;

托马斯·C.·普伦蒂斯 ;

帕特希·A.·马特奥 ;

大卫·P.·普林斯 .

中国专利 :CN104094392A ,2014-10-08

[2]

用于将材料沉积于基板上的材料沉积系统和方法 [P].

肯尼斯·C.·克劳奇 ;

罗伯特·W.·特蕾西 ;

托马斯·J.·卡林斯基 ;

斯科特·A.·里德 .

中国专利 :CN104395085A ,2015-03-04

[3]

材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

奥利弗·海默尔 ;

迪特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01

[4]

在基板上沉积材料的方法、被配置为能够连接到用于沉积材料的系统的控制器、和用于沉积材料的系统 [P].

托马斯·沃纳·兹巴于尔 .

美国专利 :CN116195027B ,2025-11-04

[5]

微沉积系统以及在衬底上沉积精确量的流体材料的方法 [P].

查尔斯·O·爱德华兹 ;

戴维·阿尔伯塔利 ;

霍华德·W·比利奇 ;

詹姆斯·米德利滕 .

中国专利 :CN1280025C ,2004-10-06

[6]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN206999626U ,2018-02-13

[7]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13

[8]

用于在衬底选择侧上沉积的PECVD沉积系统 [P].

法亚兹·谢赫 ;

尼克·林佰格 ;

柯蒂斯·贝利 .

美国专利 :CN119615129A ,2025-03-14

[9]

用于在衬底选择侧上沉积的PECVD沉积系统 [P].

法亚兹·谢赫 ;

尼克·林佰格 ;

柯蒂斯·贝利 .

美国专利 :CN115613010B ,2024-11-12

[10]

用于在衬底选择侧上沉积的PECVD沉积系统 [P].

法亚兹·谢赫 ;

尼克·林佰格 ;

柯蒂斯·贝利 .

中国专利 :CN111094620B ,2020-05-01

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