沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610000429.6

申请日：

2006-01-05

公开(公告)号：

CN1824829A

公开(公告)日：

2006-08-30

发明(设计)人：

黄珉婷李星昊

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1652 H01L21205 H01L5156 G05D502

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

罗正云;宋志强

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101465546576 IPC(主分类):C23C 14/54 专利号:ZL2006100004296 变更事项:专利权人变更前权利人:三星移动显示器株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121018
2009-02-11	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人变更前权利人:三星SDI株式会社变更后权利人:三星移动显示器株式会社变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20090109
2010-01-20	授权	授权
2006-08-30	公开	公开
2006-10-25	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

薄膜沉积系统以及沉积薄膜的方法 [P].

郑文豪 ;

戴逸明 ;

陈彦羽 ;

朱玄之 .

中国专利 :CN113005428A ,2021-06-22

[2]

沉积系统、沉积设备、和操作沉积系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

马蒂亚斯·克雷布斯 .

中国专利 :CN108966659B ,2018-12-07

[3]

通过式沉积系统以及采用通过式沉积系统的沉积方法和沉积设备 [P].

P·卡曾斯 ;

H·C·卢安 ;

T·帕斯 ;

J·费雷尔 ;

R·加拉尔多 ;

S·F·迈耶 .

中国专利 :CN101641765B ,2010-02-03

[4]

沉积层的方法、沉积系统及替换沉积系统的窗口的方法 [P].

金海光 ;

匡训冲 ;

江法伸 .

中国专利 :CN114875383A ,2022-08-09

[5]

用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统 [P].

朴宰完 ;

车裕敏 ;

赵源锡 ;

朴在穆 ;

安宰弘 ;

黄珉婷 ;

金兑昱 ;

李钟禹 ;

金兑承 .

中国专利 :CN101880865B ,2010-11-10

[6]

材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

奥利弗·海默尔 ;

迪特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01

[7]

沉积系统及沉积方法 [P].

郑文豪 ;

朱玄之 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08

[8]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN206999626U ,2018-02-13

[9]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13

[10]

沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统 [P].

郑文豪 ;

陈彦羽 ;

戴逸明 .

中国专利 :CN114921760B ,2024-05-28

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