带有模块化沉积头的沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880018055.1

申请日：

2018-02-28

公开(公告)号：

CN110382737A

公开(公告)日：

2019-10-25

发明(设计)人：

T.M.斯帕思 L.W.塔特

申请人：

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

安宁;李建新

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180228
2019-10-25	公开	公开
2021-09-07	授权	授权

共 50 条

[1]

模块化薄膜沉积系统 [P].

T.M.斯帕思 ;

C.R.埃林格尔 ;

S.F.尼尔森 ;

L.W.塔特 .

中国专利 :CN110392748A ,2019-10-29

[2]

模块化的连续沉积系统 [P].

王开安 ;

黄仲漩 .

中国专利 :CN205099749U ,2016-03-23

[3]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN206999626U ,2018-02-13

[4]

用于沉积系统的多材料沉积头 [P].

金国庆 ;

胡兵兵 ;

陈涛 ;

杨湛 ;

孙立宁 .

中国专利 :CN107244066A ,2017-10-13

[5]

沉积系统、沉积设备、和操作沉积系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

马蒂亚斯·克雷布斯 .

中国专利 :CN108966659B ,2018-12-07

[6]

沉积材料供应模块和具有所述模块的薄膜沉积系统 [P].

李圭桓 ;

崔东权 ;

金哲焕 ;

朴锡珠 ;

李亨燮 .

中国专利 :CN101451229A ,2009-06-10

[7]

沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法 [P].

黄珉婷 ;

李星昊 .

中国专利 :CN1824829A ,2006-08-30

[8]

沉积装置及具有该沉积装置的沉积系统 [P].

孙宗源 ;

金大渊 ;

李相敦 ;

张显秀 .

中国专利 :CN106435525B ,2017-02-22

[9]

沉积系统及沉积方法 [P].

郑文豪 ;

朱玄之 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN115198236B ,2024-03-08

[10]

沉积设备和沉积系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN215163072U ,2021-12-14

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