沉积材料供应模块和具有所述模块的薄膜沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810182930.8

申请日：

2008-12-05

公开(公告)号：

CN101451229A

公开(公告)日：

2009-06-10

发明(设计)人：

李圭桓崔东权金哲焕朴锡珠李亨燮

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1412

IPC分类号：

C23C1600 B05C1110

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人：

孟锐

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101628026059 IPC(主分类):C23C 14/12 专利申请号:2008101829308 申请公布日:20090610
2010-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006882140 IPC(主分类):C23C 14/12 专利申请号:2008101829308 申请日:20081205
2009-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

模块化薄膜沉积系统 [P].

T.M.斯帕思 ;

C.R.埃林格尔 ;

S.F.尼尔森 ;

L.W.塔特 .

中国专利 :CN110392748A ,2019-10-29

[2]

薄膜沉积设备和薄膜沉积系统 [P].

姜敞晧 ;

权铉九 ;

玄在根 .

中国专利 :CN103097568A ,2013-05-08

[3]

薄膜沉积系统和薄膜沉积方法 [P].

赵炳夏 ;

徐廷和 ;

金泰亨 ;

徐东均 ;

曹洙一 .

中国专利 :CN102102195A ,2011-06-22

[4]

带有模块化沉积头的沉积系统 [P].

T.M.斯帕思 ;

L.W.塔特 .

中国专利 :CN110382737A ,2019-10-25

[5]

材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

奥利弗·海默尔 ;

迪特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107002223B ,2017-08-01

[6]

薄膜沉积系统以及沉积薄膜的方法 [P].

郑文豪 ;

戴逸明 ;

陈彦羽 ;

朱玄之 .

中国专利 :CN113005428A ,2021-06-22

[7]

模块化的连续沉积系统 [P].

王开安 ;

黄仲漩 .

中国专利 :CN205099749U ,2016-03-23

[8]

用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统 [P].

安东尼奥·安德烈·真蒂莱 ;

萨尔瓦托雷·莫德奥 .

中国专利 :CN103119194A ,2013-05-22

[9]

用于在基板上沉积材料的材料沉积系统 [P].

丹尼斯·G.·道尔 ;

托马斯·C.·普伦蒂斯 ;

帕特希·A.·马特奥 ;

大卫·P.·普林斯 .

中国专利 :CN104080948A ,2014-10-01

[10]

用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统 [P].

朴宰完 ;

车裕敏 ;

赵源锡 ;

朴在穆 ;

安宰弘 ;

黄珉婷 ;

金兑昱 ;

李钟禹 ;

金兑承 .

中国专利 :CN101880865B ,2010-11-10

← 1 2 3 4 5 →