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一种晶圆片铲片机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021817704.5
申请日：
2020-08-27
公开(公告)号：
CN212967661U
公开(公告)日：
2021-04-13
发明(设计)人：
姬煜
赵通
申请人：
申请人地址：
221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728
代理人：
涂柳晓
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-13 | 授权 | 授权 |