放射线敏感性组合物和聚合物以及单体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980107243.2

申请日：

2009-02-27

公开(公告)号：

CN101959908A

公开(公告)日：

2011-01-26

发明(设计)人：

丸山研清水大辅

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C08F2026

IPC分类号：

G03F7039 H01L21027

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

左嘉勋;顾晋伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-26	公开	公开
2014-01-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101686141217 IPC(主分类):C08F 20/26 专利申请号:2009801072432 申请公布日:20110126
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101058488395 IPC(主分类):C08F 20/26 专利申请号:2009801072432 申请日:20090227

共 50 条

[1]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

下川努 ;

江畑琢磨 ;

酒井香织 ;

大泉芳史 ;

征矢野晃雅 ;

大塚昇 .

中国专利 :CN102089709B ,2011-06-08

[2]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN104281006B ,2015-01-14

[3]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN101528653B ,2009-09-09

[4]

放射线敏感性组合物 [P].

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN103102251B ,2013-05-15

[5]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

大塚升 ;

川上峰规 ;

西村幸生 ;

杉浦诚 .

中国专利 :CN101772735B ,2010-07-07

[6]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

江畑琢磨 ;

中川大树 ;

松田恭彦 ;

笠原一树 ;

星子贤二 ;

中岛浩光 ;

池田宪彦 ;

酒井香织 ;

原田早纪 .

中国专利 :CN102150082B ,2011-08-10

[7]

丙烯酸系聚合物和放射线敏感性树脂组合物 [P].

藤原考一 ;

山口宙志 ;

中村敦 .

中国专利 :CN100374475C ,2006-10-04

[8]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

芹泽龙一 ;

松村信司 ;

榊原宏和 .

中国专利 :CN102804065B ,2012-11-28

[9]

放射线敏感性树脂组合物、聚合物及化合物 [P].

池田宪彦 ;

中村真一 .

中国专利 :CN103140551B ,2013-06-05

[10]

放射线敏感性树脂组合物 [P].

山田爱理 .

中国专利 :CN101387829A ,2009-03-18

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