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负载锁定装置和处理系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201080018893.2
申请日：
2010-08-23
公开(公告)号：
CN102414809A
公开(公告)日：
2012-04-11
发明(设计)人：
阪上博充
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-04-11 | 公开 | 公开 |
| 2012-05-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101250910580 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010800188932 申请日:20100823 |
| 2014-07-02 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101702492097 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010800188932 申请公布日:20120411 |