负载锁定装置和真空处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910252925.4

申请日：

2009-12-04

公开(公告)号：

CN101752220A

公开(公告)日：

2010-06-23

发明(设计)人：

锅山裕树雨野勉若森勤

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101699001541 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2009102529254 申请日:20091204 授权公告日:20120328 终止日期:20151204
2012-03-28	授权	授权
2010-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101004900454 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009102529254 申请日:20091204
2010-06-23	公开	公开

共 50 条

[1]

用于真空处理系统的负载锁定腔室和真空处理系统 [P].

F·皮耶拉利西 ;

T·格贝勒 .

中国专利 :CN106232863A ,2016-12-14

[2]

真空处理装置、真空处理系统和真空处理方法 [P].

山岸孝幸 ;

小林民宏 .

中国专利 :CN110610873B ,2019-12-24

[3]

真空处理装置、真空处理系统和处理方法 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101752173A ,2010-06-23

[4]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 ;

周艳 ;

王谦 .

中国专利 :CN103199034B ,2013-07-10

[5]

负载锁定腔室、真空处理系统和抽空负载锁定腔室的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·莱恩 ;

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN107567653B ,2018-01-09

[6]

负载锁定装置和处理系统 [P].

阪上博充 .

中国专利 :CN102414809A ,2012-04-11

[7]

真空处理系统 [P].

宫下哲也 ;

多田宪伦 .

中国专利 :CN101688303A ,2010-03-31

[8]

真空处理系统 [P].

王天邻 ;

谢斌平 ;

陈飞 ;

陈志刚 .

中国专利 :CN222961529U ,2025-06-10

[9]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 .

中国专利 :CN201966237U ,2011-09-07

[10]

真空处理系统和处理控制 [P].

F·巴隆 ;

K·云特 ;

D·迈尔霍弗 .

:CN117413352A ,2024-01-16

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