负载锁定腔室、真空处理系统和抽空负载锁定腔室的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580078936.9

申请日：

2015-05-15

公开(公告)号：

CN107567653B

公开(公告)日：

2018-01-09

发明(设计)人：

托马斯·格比利沃尔夫冈·莱恩拉尔夫·林登贝格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	授权	授权
2018-01-09	公开	公开
2018-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150515

共 50 条

[1]

用于真空处理系统的负载锁定腔室和真空处理系统 [P].

F·皮耶拉利西 ;

T·格贝勒 .

中国专利 :CN106232863A ,2016-12-14

[2]

负载锁定装置和真空处理系统 [P].

锅山裕树 ;

雨野勉 ;

若森勤 .

中国专利 :CN101752220A ,2010-06-23

[3]

负载腔室及其使用该负载腔室之多腔室处理系统 [P].

周仁 ;

范川 ;

吕光泉 ;

张孝勇 ;

方仕彩 ;

廉杰 ;

门恩国 .

中国专利 :CN105789091B ,2016-07-20

[4]

真空处理腔室和具有真空处理腔室的真空处理设备 [P].

S·克拉斯尼策尔 .

中国专利 :CN102770936B ,2012-11-07

[5]

用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 ;

马丁·凯梅尔 ;

布里希·拉贾 .

中国专利 :CN111279107A ,2020-06-12

[6]

用于真空密封的锁定阀、真空腔室以及真空处理系统 [P].

托拜厄斯·林-达·夏 ;

马丁·凯梅尔 ;

约阿希姆·松嫩申 .

中国专利 :CN109844383A ,2019-06-04

[7]

真空处理用腔室 [P].

岩崎安邦 ;

福田祥慎 ;

宫崎修 .

中国专利 :CN100577861C ,2008-06-18

[8]

用于装载及卸载基板的负载锁定腔室和直列基板处理系统 [P].

弗兰克·施纳朋伯杰 .

中国专利 :CN208240622U ,2018-12-14

[9]

一种真空处理腔室及多腔室真空处理装置 [P].

余海春 ;

顾鹏鹏 ;

戴晓东 ;

戴秀海 ;

薛聪颖 .

中国专利 :CN120350348A ,2025-07-22

[10]

一种真空处理腔室及多腔室真空处理装置 [P].

余海春 ;

高文晶 ;

戴晓东 ;

顾鹏鹏 ;

罗俊 .

中国专利 :CN120291033A ,2025-07-11

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