用于装载及卸载基板的负载锁定腔室和直列基板处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201590001521.7

申请日：

2015-05-22

公开(公告)号：

CN208240622U

公开(公告)日：

2018-12-14

发明(设计)人：

弗兰克·施纳朋伯杰

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN101145506A ,2008-03-19

[2]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN1638025A ,2005-07-13

[3]

用于处理多个基板的基板处理系统和在直列基板处理系统中处理基板的方法 [P].

塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 ;

于尔根·亨里奇 .

中国专利 :CN114127331A ,2022-03-01

[4]

用于支持基板处理腔室的框架结构及直列式基板处理系统 [P].

J·A·霍 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN203846812U ,2014-09-24

[5]

用于操作腔室的方法、用于处理基板的装置和基板处理系统 [P].

克里斯托弗·马尔姆斯 ;

托拜西·伯格曼 .

美国专利 :CN115461491B ,2024-08-23

[6]

用于操作腔室的方法、用于处理基板的装置和基板处理系统 [P].

克里斯托弗·马尔姆斯 ;

托拜西·伯格曼 .

中国专利 :CN115461491A ,2022-12-09

[7]

负载锁定腔室、真空处理系统和抽空负载锁定腔室的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·莱恩 ;

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN107567653B ,2018-01-09

[8]

用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 [P].

M·贝赫加德 ;

栗田真一 ;

稻川真 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN102138200A ,2011-07-27

[9]

用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 [P].

M·贝赫加德 ;

栗田真一 ;

稻川真 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN104392947A ,2015-03-04

[10]

基板处理系统及基板处理系统的卸载互锁模块 [P].

朴海允 .

中国专利 :CN102117732A ,2011-07-06

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