用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980134693.0

申请日：

2009-08-27

公开(公告)号：

CN102138200A

公开(公告)日：

2011-07-27

发明(设计)人：

M·贝赫加德栗田真一稻川真 S·安瓦尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆嘉

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-04	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101258518038 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009801346930 变更事项:申请人变更前:应用材料股份有限公司变更后:应用材料公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州
2015-06-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101716491645 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009801346930 申请公布日:20110727
2011-07-27	公开	公开
2011-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101121709402 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009801346930 申请日:20090827

共 50 条

[1]

用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 [P].

M·贝赫加德 ;

栗田真一 ;

稻川真 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN104392947A ,2015-03-04

[2]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN101145506A ,2008-03-19

[3]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN1638025A ,2005-07-13

[4]

大面积基板处理系统 [P].

罗伯特·Z·巴克拉克 ;

温德尔·T·布伦尼格 .

中国专利 :CN100466160C ,2006-02-01

[5]

大面积基板处理系统 [P].

托马斯·L·杜尔 ;

约翰·A·米勒 .

中国专利 :CN301217588S ,2010-05-19

[6]

大面积双基板处理系统 [P].

栗田真一 ;

几尾·森 ;

罗宾·L·蒂纳 .

中国专利 :CN108350572A ,2018-07-31

[7]

大面积基板处理系统的基座结构体 [P].

张泽龙 ;

李炳一 .

中国专利 :CN101255547A ,2008-09-03

[8]

基板处理系统、用于真空处理系统的基板腔室以及冷却基板的方法 [P].

哈利埃卢拉·谢里夫 ;

布里希·拉贾 .

中国专利 :CN113287194A ,2021-08-20

[9]

基板处理系统、用于真空处理系统的基板腔室以及冷却基板的方法 [P].

哈利埃卢拉·谢里夫 ;

布里希·拉贾 .

美国专利 :CN113287194B ,2024-12-24

[10]

负载锁定腔室、真空处理系统和抽空负载锁定腔室的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·莱恩 ;

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN107567653B ,2018-01-09

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