大面积基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03821719.8

申请日：

2003-09-11

公开(公告)号：

CN100466160C

公开(公告)日：

2006-02-01

发明(设计)人：

罗伯特·Z·巴克拉克温德尔·T·布伦尼格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陆嘉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-12-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101249717364 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL038217198 变更事项:专利权人变更前:应用材料股份有限公司变更后:应用材料公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州
2009-03-04	授权	授权
2006-02-01	公开	公开
2016-11-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101687200229 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL038217198 申请日:20030911 授权公告日:20090304 终止日期:20150911

共 50 条

[1]

大面积基板处理系统 [P].

托马斯·L·杜尔 ;

约翰·A·米勒 .

中国专利 :CN301217588S ,2010-05-19

[2]

大面积双基板处理系统 [P].

栗田真一 ;

几尾·森 ;

罗宾·L·蒂纳 .

中国专利 :CN108350572A ,2018-07-31

[3]

大面积基板处理系统的基座结构体 [P].

张泽龙 ;

李炳一 .

中国专利 :CN101255547A ,2008-09-03

[4]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN101145506A ,2008-03-19

[5]

用于大面积基板处理系统的装载锁定室 [P].

S·库里塔 ;

W·T·布罗尼根 ;

Y·塔纳斯 .

中国专利 :CN1638025A ,2005-07-13

[6]

用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 [P].

M·贝赫加德 ;

栗田真一 ;

稻川真 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN104392947A ,2015-03-04

[7]

用于大面积基板处理系统的加载锁定腔室 [P].

M·贝赫加德 ;

栗田真一 ;

稻川真 ;

S·安瓦尔 .

中国专利 :CN102138200A ,2011-07-27

[8]

一种大面积人工湿地处理系统及处理方法 [P].

张国基 ;

张邦喜 ;

张希兰 .

中国专利 :CN111960547B ,2020-11-20

[9]

一种大面积软地基快速吸水处理系统 [P].

麦小君 ;

黄永铨 .

中国专利 :CN213358579U ,2021-06-04

[10]

一种大面积软地基快速吸水处理系统 [P].

沈卫清 .

中国专利 :CN210766731U ,2020-06-16

← 1 2 3 4 5 →