用于真空密封的锁定阀、真空腔室以及真空处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780043744.3

申请日：

2017-09-27

公开(公告)号：

CN109844383A

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

托拜厄斯·林-达·夏马丁·凯梅尔约阿希姆·松嫩申

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

F16K120

IPC分类号：

C23C1456 C23C1644 F16K5102 H01L2167

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-09	授权	授权
2019-06-04	公开	公开
2019-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F16K 1/20 申请日:20170927

共 50 条

[1]

用于真空密封的锁定阀、真空腔室和真空处理系统 [P].

拉尔夫·林登贝格 ;

马丁·凯梅尔 ;

布里希·拉贾 .

中国专利 :CN111279107A ,2020-06-12

[2]

用于真空处理系统的负载锁定腔室和真空处理系统 [P].

F·皮耶拉利西 ;

T·格贝勒 .

中国专利 :CN106232863A ,2016-12-14

[3]

真空处理系统以及操作真空处理系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

沃尔夫冈·布什贝克 ;

托马斯·伯杰 .

中国专利 :CN110651361A ,2020-01-03

[4]

真空装置、真空处理系统以及真空室的压力控制方法 [P].

锅山裕树 .

中国专利 :CN101471241B ,2009-07-01

[5]

真空处理装置、真空处理系统和真空处理方法 [P].

山岸孝幸 ;

小林民宏 .

中国专利 :CN110610873B ,2019-12-24

[6]

真空腔室和真空处理装置 [P].

冈部星儿 .

中国专利 :CN1925111A ,2007-03-07

[7]

用于在真空腔室中使用的载体、用于测试真空腔室中的运输布置的系统、真空处理系统和用于测试真空腔室中的运输布置的方法 [P].

西蒙·刘 ;

汉斯·约阿希姆·汉德 ;

约阿希姆·索尼森 ;

克劳斯·曾格尔 ;

马尔科·格哈德 ;

阿伦·奥斯曼尼克 ;

豪克·汉森 ;

崔胜元 .

中国专利 :CN109964308A ,2019-07-02

[8]

用于真空处理系统的传送处理室 [P].

栗田真一 ;

伊曼纽尔·比尔 ;

阮·亨·T ;

温德尔·T·布隆尼格 .

中国专利 :CN1675742A ,2005-09-28

[9]

真空处理系统 [P].

宫下哲也 ;

多田宪伦 .

中国专利 :CN101688303A ,2010-03-31

[10]

真空处理系统 [P].

王天邻 ;

谢斌平 ;

陈飞 ;

陈志刚 .

中国专利 :CN222961529U ,2025-06-10

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