用于真空处理系统的负载锁定腔室和真空处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480078013.9

申请日：

2014-04-16

公开(公告)号：

CN106232863A

公开(公告)日：

2016-12-14

发明(设计)人：

F·皮耶拉利西 T·格贝勒

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1644 C23C1654 H01J3732 H01L2167

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101716389875 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2014800780139 申请日:20140416
2016-12-14	公开	公开
2020-11-20	授权	授权

共 50 条

[1]

负载锁定腔室、真空处理系统和抽空负载锁定腔室的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·莱恩 ;

拉尔夫·林登贝格 .

中国专利 :CN107567653B ,2018-01-09

[2]

真空处理装置、真空处理系统和真空处理方法 [P].

山岸孝幸 ;

小林民宏 .

中国专利 :CN110610873B ,2019-12-24

[3]

真空处理系统 [P].

宫下哲也 ;

多田宪伦 .

中国专利 :CN101688303A ,2010-03-31

[4]

真空处理系统 [P].

王天邻 ;

谢斌平 ;

陈飞 ;

陈志刚 .

中国专利 :CN222961529U ,2025-06-10

[5]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 ;

周艳 ;

王谦 .

中国专利 :CN103199034B ,2013-07-10

[6]

真空处理系统 [P].

胡兵 ;

吴红星 .

中国专利 :CN201966237U ,2011-09-07

[7]

负载锁定装置和真空处理系统 [P].

锅山裕树 ;

雨野勉 ;

若森勤 .

中国专利 :CN101752220A ,2010-06-23

[8]

真空处理装置、真空处理系统和处理方法 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101752173A ,2010-06-23

[9]

真空处理系统以及操作真空处理系统的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

沃尔夫冈·布什贝克 ;

托马斯·伯杰 .

中国专利 :CN110651361A ,2020-01-03

[10]

真空处理系统及操作真空处理系统的方法 [P].

塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 ;

于尔根·亨里奇 ;

安德烈亚斯·索尔 .

中国专利 :CN110612362A ,2019-12-24

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