共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2007-02-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2015-04-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101603733315 IPC(主分类):H01L 21/786 专利号:ZL2005100062884 申请日:20050202 授权公告日:20081203 终止日期:20140202 |
| 2008-12-03 | 授权 | 授权 |
| 2005-08-10 | 公开 | 公开 |