热屏及单晶硅生长炉结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711365658.2

申请日：

2017-12-18

公开(公告)号：

CN109930197A

公开(公告)日：

2019-06-25

发明(设计)人：

肖德元汪燕

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室

IPC主分类号：

C30B1510

IPC分类号：

C30B1514 C30B2906

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/10 申请日:20171218
2022-02-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 15/10 申请公布日:20190625
2019-06-25	公开	公开

共 50 条

[1]

热屏及单晶硅生长炉结构 [P].

邓先亮 ;

赵向阳 ;

陈强 ;

孙瑞 ;

何昆哲 .

中国专利 :CN109930198A ,2019-06-25

[2]

热屏及单晶硅生长炉结构 [P].

肖德元 ;

汪燕 .

中国专利 :CN109930200A ,2019-06-25

[3]

一种用于单晶硅生长炉的热屏及单晶硅生长炉 [P].

薛忠营 ;

栗展 ;

魏星 ;

李名浩 ;

魏涛 ;

刘赟 .

中国专利 :CN111876822A ,2020-11-03

[4]

水冷屏装置及单晶硅生长炉 [P].

宋程章 ;

马玉花 ;

马幼学 ;

马淑兰 ;

陈奕峰 .

中国专利 :CN118374871A ,2024-07-23

[5]

单晶硅生长炉 [P].

陈俊宏 .

中国专利 :CN218262828U ,2023-01-10

[6]

单晶硅生长炉 [P].

李秦霖 ;

宋洪伟 .

中国专利 :CN106894082B ,2017-06-27

[7]

单晶硅生长炉 [P].

张志新 ;

王军 ;

安桂正 .

中国专利 :CN300933376D ,2009-05-27

[8]

单晶硅生长炉 [P].

刘磊 ;

武鹏 ;

楼杭炯 ;

王运动 ;

何金凯 ;

贾晨晨 ;

王成龙 ;

张大海 .

中国专利 :CN222935574U ,2025-06-03

[9]

水冷屏和单晶硅生长炉 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112941616A ,2021-06-11

[10]

一种用于单晶硅生长炉的复合隔热结构及单晶硅生长炉 [P].

魏星 ;

李名浩 ;

栗展 ;

魏涛 ;

刘赟 ;

薛忠营 .

中国专利 :CN111893561B ,2020-11-06

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