一种用于单晶硅生长炉的复合隔热结构及单晶硅生长炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010621637.8

申请日：

2020-07-01

公开(公告)号：

CN111893561B

公开(公告)日：

2020-11-06

发明(设计)人：

魏星李名浩栗展魏涛刘赟薛忠营

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

C30B1516

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;贾允

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	授权	授权
2020-11-06	公开	公开
2020-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/16 申请日:20200701

共 50 条

[1]

一种用于单晶硅生长炉的薄膜隔热片及单晶硅生长炉 [P].

魏星 ;

魏涛 ;

李名浩 ;

栗展 ;

刘赟 ;

薛忠营 .

中国专利 :CN111893558A ,2020-11-06

[2]

单晶硅生长炉 [P].

陈俊宏 .

中国专利 :CN218262828U ,2023-01-10

[3]

单晶硅生长炉 [P].

李秦霖 ;

宋洪伟 .

中国专利 :CN106894082B ,2017-06-27

[4]

单晶硅生长炉 [P].

张志新 ;

王军 ;

安桂正 .

中国专利 :CN300933376D ,2009-05-27

[5]

单晶硅生长炉 [P].

刘磊 ;

武鹏 ;

楼杭炯 ;

王运动 ;

何金凯 ;

贾晨晨 ;

王成龙 ;

张大海 .

中国专利 :CN222935574U ,2025-06-03

[6]

一种用于单晶硅生长炉的热屏及单晶硅生长炉 [P].

薛忠营 ;

栗展 ;

魏星 ;

李名浩 ;

魏涛 ;

刘赟 .

中国专利 :CN111876822A ,2020-11-03

[7]

一种单晶硅生长炉 [P].

郭鸿震 ;

温雅楠 .

中国专利 :CN107513759A ,2017-12-26

[8]

一种单晶硅生长炉 [P].

李国迪 ;

谈志俊 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201292418Y ,2009-08-19

[9]

单晶硅生长炉加热装置 [P].

韩喆 ;

林友相 ;

李国迪 ;

蒋明霞 .

中国专利 :CN201842896U ,2011-05-25

[10]

热屏及单晶硅生长炉结构 [P].

邓先亮 ;

赵向阳 ;

陈强 ;

孙瑞 ;

何昆哲 .

中国专利 :CN109930198A ,2019-06-25

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