大功率电子与离子的等离子体源

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020826582.X
申请日
2020-05-18
公开(公告)号
CN211656492U
公开(公告)日
2020-10-09
发明(设计)人
于宝海 巴伊尔·达姆皮隆 刘占奇
申请人
申请人地址
110027 辽宁省沈阳市经济技术开发区开发南二十六号路
IPC主分类号
H05H146
IPC分类号
代理机构
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001
代理人
张晨
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
电子和离子的等离子体源 [P]. 
于宝海 ;
谢广亮 .
中国专利 :CN205609471U ,2016-09-28
[2]
电子和离子的等离子体源 [P]. 
于宝海 ;
谢广亮 .
中国专利 :CN105762053A ,2016-07-13
[3]
大功率微波等离子体炬 [P]. 
杨永进 ;
张劲松 ;
徐兴祥 .
中国专利 :CN2582330Y ,2003-10-22
[4]
大功率等离子体火炬阴极 [P]. 
徐智 ;
张浩 .
中国专利 :CN207603981U ,2018-07-10
[5]
大功率微波等离子体炬 [P]. 
杨永进 ;
张劲松 ;
徐兴祥 .
中国专利 :CN1207944C ,2004-06-09
[6]
等离子体源 [P]. 
井内裕 ;
谷井正博 .
中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07
[7]
一种大功率中空等离子体源装置 [P]. 
陈波 .
中国专利 :CN211267223U ,2020-08-14
[8]
等离子体源机构 [P]. 
乐卫平 ;
黄晓东 ;
林伟群 ;
刘涛 ;
张桂东 ;
蚁振宇 .
中国专利 :CN218217775U ,2023-01-03
[9]
等离子体源机构 [P]. 
乐卫平 ;
黄晓东 ;
林伟群 ;
刘涛 ;
张桂东 ;
练瑞祥 .
中国专利 :CN218039089U ,2022-12-13
[10]
大功率等离子体发生器及等离子体产生方法 [P]. 
张卫刚 ;
高岭 ;
孙杨 ;
郑敏 ;
刘璐 ;
汪舸 ;
王娅辉 .
中国专利 :CN118158877A ,2024-06-07