等离子体源机构

被引：0

申请号：

CN202221579143.9

申请日：

2022-06-22

公开(公告)号：

CN218217775U

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

乐卫平黄晓东林伟群刘涛张桂东蚁振宇

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H05H102

代理机构：

深圳市辰为知识产权代理事务所(普通合伙) 44719

代理人：

唐文波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体源机构 [P].

乐卫平 ;

黄晓东 ;

林伟群 ;

刘涛 ;

张桂东 ;

练瑞祥 .

中国专利 :CN218039089U ,2022-12-13

[2]

等离子体源机构 [P].

乐卫平 ;

刘涛 ;

谢幸光 .

中国专利 :CN118098920A ,2024-05-28

[3]

等离子体源机构 [P].

林伟群 ;

刘涛 ;

张桂东 ;

何卓霖 .

中国专利 :CN218124999U ,2022-12-23

[4]

等离子体源机构及薄膜形成装置 [P].

菅原卓哉 ;

宫内充祐 ;

长江亦周 .

中国专利 :CN110318028A ,2019-10-11

[5]

等离子体源机构及成膜装置 [P].

松元孝文 ;

铃木寿弘 ;

中牟田雄 ;

松本昌弘 ;

久保昌司 .

中国专利 :CN101904227A ,2010-12-01

[6]

等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[7]

等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[8]

等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[9]

等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

[10]

等离子体源 [P].

井内裕 .

中国专利 :CN304546178S ,2018-03-20

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