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等离子体源机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410243637.7
申请日：
2024-03-04
公开(公告)号：
CN118098920A
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
乐卫平
刘涛
谢幸光
申请人：
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人：
张莉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20240304 |
| 2024-05-28 | 公开 | 公开 |