薄膜蒸镀用掩膜组件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310548317.4

申请日：

2013-11-07

公开(公告)号：

CN103820753B

公开(公告)日：

2014-05-28

发明(设计)人：

金容焕

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

金光军;金玉兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101629441126 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2013105483174 申请日:20131107
2017-11-17	授权	授权
2014-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板及其制造方法、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN107904554A ,2018-04-13

[2]

蒸镀掩膜组件 [P].

曹燕 ;

孙扬 ;

吴秀珍 .

中国专利 :CN220550213U ,2024-03-01

[3]

掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

姚固 ;

王玉 ;

郭书鹏 ;

童亚超 .

中国专利 :CN110923633B ,2020-03-27

[4]

掩膜版、掩膜组件以及蒸镀方法 [P].

徐海 ;

孙力 .

中国专利 :CN109112477A ,2019-01-01

[5]

掩膜框架、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

张健 ;

李冬伟 .

中国专利 :CN207780479U ,2018-08-28

[6]

掩膜板、掩膜组件及蒸镀装置 [P].

张新建 ;

刘丽国 ;

尹志 .

中国专利 :CN207775333U ,2018-08-28

[7]

一种蒸镀用掩膜组件 [P].

余威 .

中国专利 :CN107978676B ,2018-05-01

[8]

平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法 [P].

庾弘宇 .

中国专利 :CN113308666A ,2021-08-27

[9]

显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板 [P].

李朝 .

中国专利 :CN109402560A ,2019-03-01

[10]

一种掩膜组件、蒸镀方法和蒸镀设备 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN115786846B ,2024-06-14

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