蚀刻液组合物及利用该组合物的薄膜晶体管基板形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410497650.1

申请日：

2014-09-25

公开(公告)号：

CN104451681B

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

金俸均朴弘植尹升好金善一金相佑李大雨李骐范曹三永

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F116

IPC分类号：

C23F102 H01L2177

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

崔炳哲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101682006848 IPC(主分类):C23F 1/16 专利申请号:2014104976501 申请日:20140925
2015-03-25	公开	公开
2019-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法 [P].

金俸均 ;

郑在祐 ;

朴弘植 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李相赫 .

中国专利 :CN108203827B ,2018-06-26

[2]

蚀刻剂组合物及使用其制造薄膜晶体管基板的方法 [P].

安守民 ;

金荣俊 ;

朴弘植 ;

鞠仁说 ;

朴英哲 ;

刘仁浩 ;

李承洙 ;

李钟文 ;

林大成 .

中国专利 :CN106400016A ,2017-02-15

[3]

蚀刻剂组合物及使用其制造薄膜晶体管的方法 [P].

金俸均 ;

朴弘植 ;

李旺宇 ;

文英慜 ;

尹升好 ;

崔永株 ;

金相佑 ;

李骐范 ;

李大雨 ;

曹三永 .

中国专利 :CN103571495A ,2014-02-12

[4]

蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法 [P].

金真锡 ;

金俸均 ;

金奎佈 ;

申贤哲 ;

李相赫 .

中国专利 :CN107488856A ,2017-12-19

[5]

蚀刻剂组合物以及制造金属图案和薄膜晶体管基板的方法 [P].

金俸均 ;

权昶佑 ;

沈承辅 ;

安一培 ;

张硕浚 ;

金镇奭 ;

朴芝焄 ;

李龙洙 ;

全亮镒 ;

金奎佈 ;

金相佑 ;

申贤哲 .

中国专利 :CN114763612A ,2022-07-19

[6]

蚀刻液组合物以及利用它的薄膜晶体管显示板的制造方法 [P].

金荣濬 ;

安守民 ;

郑在祐 ;

朴弘植 ;

孙桢翊 ;

吴晞诚 ;

林廷训 .

中国专利 :CN106497569A ,2017-03-15

[7]

金属膜蚀刻液组合物及利用了该组合物的蚀刻方法 [P].

李明翰 ;

具炳秀 ;

曹三永 ;

李骐范 .

中国专利 :CN104838040A ,2015-08-12

[8]

薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻液组合物 [P].

郑锺铉 ;

朴弘植 ;

洪瑄英 ;

金俸均 ;

李智鲜 ;

李炳珍 ;

李骐范 ;

曺三永 ;

具炳秀 ;

申贤哲 ;

徐源国 ;

朴贵弘 ;

河泰成 .

中国专利 :CN101265579B ,2008-09-17

[9]

蚀刻剂组合物及使用其形成金属布线和薄膜晶体管基底的方法 [P].

金仁培 ;

郑锺铉 ;

文英慜 ;

朴弘植 ;

金奎佈 ;

徐源国 ;

申贤哲 ;

李骐范 ;

曹三永 ;

韩胜然 .

中国专利 :CN105579618A ,2016-05-11

[10]

蚀刻剂组合物和制造薄膜晶体管阵列基板的方法 [P].

郑康来 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN105369249A ,2016-03-02

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